UHP ගෑස් බෙදාහැරීමේ පද්ධති මෙතරම් වැදගත් වන්නේ ඇයි?
අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී - කැටයම් කිරීම, CVD, අයන බද්ධ කිරීම සහ ලිතෝග්රැෆි වැනි ක්රියාවලීන් - ක්රියාවලි වායු අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුක්ත විය යුතුය, සාමාන්යයෙන් 99.9999% (6N) හෝ 99.99999% (7N). තෙතමනය හෝ ඔක්සිජන් වැනි ppb (බිලියනයකට කොටස්) හෝ ppt (ට්රිලියනයකට කොටස්) මට්ටමේ දූෂක සොයා ගැනීම පවා - ගේට් ඔක්සයිඩ් තුනී කිරීම, ලෝහමය හිස්තැන් හෝ වේෆර්වල කෙටි පරිපථ වැනි මාරාන්තික දෝෂ ඇති කළ හැකි අතර, මුළු කොටස්ම සීරීමට ලක් විය හැකිය.
එබැවින් UHP ගෑස් බෙදා හැරීමේ පද්ධතියක මෙහෙවර වන්නේ සංශුද්ධතාවයේ කිසිදු පිරිහීමකින් තොරව ප්රභවයේ සිට ක්රියාවලි මෙවලම වෙත වායූන් ප්රවාහනය කිරීම, සෑම ස්ථානයකම දූෂණය හා කාන්දු වීම වළක්වයි.
EP ටියුබින් UHP පද්ධතිවල කොඳු නාරටිය වන්නේ ඇයි?
EP (විද්යුත් ඔප දැමූ) නල මල නොබැඳෙන වානේ වලින් සාදා ඇති අතර එය විද්යුත් රසායනික ඔප දැමීමේ ක්රියාවලියකට භාජනය වන අතර එමඟින් දර්පණ වැනි අභ්යන්තර මතුපිටක් ලබා දෙයි. මෙය UHP වායු බෙදා හැරීම සඳහා අත්යවශ්ය "ධමනිය" බවට පත් කරයි.
අවසාන පිරිසිදුකම - ප්රභවයේදීම වැළැක්වීම
EP සැකසීම අභ්යන්තර මතුපිට රළුබව (Ra) 0.13 µm - 0.25 µm හෝ ඊටත් වඩා අඩු කරයි. මෙම අතිශය සුමට නිමාව අන්වීක්ෂීය ඉරිතැලීම් සහ අවශෝෂණ ස්ථාන ඉවත් කරයි, අංශු, ලෝහ අයන හෝ තෙතමනය ඇලවීමට ඉඩක් ඉතිරි නොකරයි.
වැඩිදියුණු කළ විඛාදන ප්රතිරෝධය - සංශුද්ධතාවය සංරක්ෂණය
විද්යුත් ඔප දැමීමේ පියවර මගින් මතුපිට අපද්රව්ය ඉවත් කර ක්රෝමියම් ඔක්සයිඩ් බහුල නිෂ්ක්රීය තට්ටුවක් සාදයි, Cl₂, CF₄ සහ HCl වැනි විඛාදන වායුවලට ප්රතිරෝධය සැලකිය යුතු ලෙස වැඩි දියුණු කරයි. මෙය අංශු හෝ පිටවන වායු දූෂණය ජනනය කළ හැකි නල බිත්ති විඛාදනය වළක්වයි.
වැඩිදියුණු කළ ප්රවාහ කාර්යක්ෂමතාව සහ වේගවත් පිරිසිදු කිරීම
සුමට අභ්යන්තර බිත්තිය ප්රවාහ ප්රතිරෝධය අඩු කරන අතර පද්ධති පිරිසිදු කිරීම සහ වායු ආදේශනය වේගවත් කරයි. වේගවත් වායු මාරු කිරීම අවශ්ය ක්රියාවලීන්හිදී, මෙය චක්ර කාලය කෙටි කරන අතර ෆැබ් ප්රතිදානය වැඩි කරයි.
වාරික ද්රව්ය - "ක්රවුන්" ප්රමිතිය
උසස් තත්ත්වයේ EP නල නිෂ්පාදනය කරනු ලබන්නේ 316L VIM-VAR (රික්ත ප්රේරණය උණු කිරීම + රික්ත චාප නැවත උණු කිරීම) මල නොබැඳෙන වානේ වලින් ය. මෙම ද්විත්ව උණු කිරීමේ ක්රියාවලිය මූලික ලෝහයේ අතිශය තොග සංශුද්ධතාවය සහතික කරයි, එය EP හි අවසාන කාර්ය සාධනය සාක්ෂාත් කර ගැනීම සඳහා මූලික පූර්ව අවශ්යතාවයකි.
ප්රධාන යෙදුම් අවස්ථා
•
මූලික ක්රියාවලි- කැටයම් කිරීම, CVD, අයන බද්ධ කිරීම සහ ලිතෝග්රැෆි සඳහා අධි-සංශුද්ධතා ප්රතික්රියාශීලී වායු බෙදා හැරීම.
•
විශේෂිත වායු– SiH₄, PH₃, Cl₂, සහ BCl₃ වැනි දැවෙන, විෂ සහිත හෝ විඛාදන වායූන් ආරක්ෂිතව හැසිරවීම. අතිශයින්ම අනතුරුදායක වායූන් සඳහා, ද්විත්ව-අවහිර EP නල බොහෝ විට භාවිතා වේ (ගෑස් සඳහා අභ්යන්තර නළය, කාන්දුව නිරීක්ෂණය සඳහා නයිට්රජන් සමඟ පිටත ජැකට් ඉවත් කර හෝ පිරිසිදු කර ඇත).
•
තීරණාත්මක දෘඩාංග– අතිශය පිරිසිදු අභ්යන්තර පෘෂ්ඨයන් අනිවාර්ය වන ගෑස් බෙදාහැරීමේ පැනල් (VMB), ගෑස් කැබිනට් සහ ක්රියාවලි මෙවලම් කොකුවල භාවිතා වේ.
නල මාර්ගයෙන් ඔබ්බට: සම්පූර්ණ UHP පද්ධතියක් සඳහා අනෙකුත් අත්යවශ්ය දෑ
නිරපේක්ෂ අඛණ්ඩතාව සහතික කිරීම සඳහා, පද්ධතියට ඇතුළත් විය යුත්තේ:
•
සම්පූර්ණයෙන්ම ස්වයංක්රීය කක්ෂීය වෙල්ඩින්- ISO පන්තිය 5 (පන්තිය 100) හෝ ඊට වඩා හොඳ පිරිසිදු කාමරවල සිදු කරනු ලැබේ, අතින් වෙල්ඩින් විචලනයන් සහ දූෂණය වීමේ අවදානම් ඉවත් කරයි.
•
සියලුම-ලෝහ මුහුණු-මුද්රා සවි කිරීම්– කාන්දු නොවන කාර්ය සාධනය සඳහා ලෝහ ගෑස්කට් මත යැපෙන VCR® හෝ W‑Seal වර්ග වැනි.
•
දැඩි පිරිසිදු කිරීම සහ ඇසුරුම් කිරීම- EP නල සාමාන්යයෙන් ඉහළ පිරිසිදු ජලයෙන් පිරිසිදු කර, වියළා, නයිට්රජන් සමඟ පිරිසිදු කර, පිරිසිදු කාමර ඇසුරුම්වල දෙවරක් බෑග් කර, ස්ථාපනය කරන තෙක් ඒවායේ “නැව්ගත කළ” සංශුද්ධතාවය ආරක්ෂා කර ගනී.
EP නල යනු හුදෙක් නලයක් නොවේ - එය අර්ධ සන්නායක වායු බෙදා හැරීමේ පළමු ආරක්ෂක මාර්ගයයි. එහි අතිශය සුමට මතුපිට, උසස් විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ වාරික ද්රව්ය සංශුද්ධතාවය වේෆර් අස්වැන්න, උපාංග විශ්වසනීයත්වය සහ සමස්ත ෆැබ් ලාභදායිතාවයට සෘජුවම බලපායි. 5nm ට අඩු නෝඩ් සහ සෑම විටම තද දෝෂ සහිත අයවැය ලෝකයේ, EP නල විකල්පයක් නොවේ - එය මූලික වේ.
පළ කිරීමේ කාලය: අගෝස්තු-05-2026