තෙතමනය සහ අංශු වායු ඉවත් කිරීම: මතුපිට නිමාව වායු සංශුද්ධතාවයට බලපාන ආකාරය
අද පවතින අධි-පිරිසිදු වායු පද්ධතිවල, ලාභදායී ක්රියාවලියක් සහ මිල අධික අසාර්ථකත්වයක් අතර වෙනස බොහෝ විට ඔබට නොපෙනෙන දෙයට පැමිණේ. තෙතමනය සහ අංශු - බිලියනයකට කොටස් හෝ ට්රිලියනයකට කොටස් වලින් මනිනු ලැබේ - ගෑස් ප්රවාහයක් නිහඬව දූෂණය කළ හැකිය, නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය පිරිහීමට සහ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන මාර්ග වසා දැමිය හැකිය. පෙරීම, පිරිසිදු කිරීම සහ ප්රවාහ පාලන උපකරණ වැඩි අවධානයක් ලබා ගන්නා අතර, ගෑස් සංශුද්ධතාවයට ඇති මූලිකම බලපෑම්වලින් එකක් වන්නේ වායුව රැගෙන යන නලයේ මතුපිටයි. එම මතුපිට නිම කරන ආකාරය තීරණය කරන්නේ එය කොපමණ තෙතමනයක් අවශෝෂණය කළ හැකිද, කොපමණ අංශු ප්රමාණයක් උගුලට හසු කර ගත හැකිද සහ පද්ධතියේ ආයු කාලය පුරාවට එය කොපමණ වායුවක් පිට කරයිද යන්නයි. මෙම මාර්ගෝපදේශය තෙතමනය සහ අංශු පිටකිරීමේ යාන්ත්රණයන් පැහැදිලි කරයි, මතුපිට නිමාවේ වායු සංශුද්ධතාවයේ බලපෑම ප්රමාණනය කරයි, සහ අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවය (UHP) කාර්ය සාධනය ලබා දීමට භාවිතා කරන නිම කිරීමේ සහ මෙහෙයුම් උපාය මාර්ග ගෙනහැර දක්වයි.
වායු විමෝචනය යනු කුමක්ද සහ එය වැදගත් වන්නේ ඇයි?
වායු පිටකිරීම යනු ද්රව්යයක මතුපිට අවශෝෂණය වී හෝ අවශෝෂණය වී හෝ එහි ආසන්න මතුපිට ස්ථර තුළ දිය වී ඇති වායූන් සහ තෙතමනය ක්රමයෙන් මුදා හැරීමයි. අවට පීඩනය පහත වැටෙන විට, උෂ්ණත්වය ඉහළ යන විට හෝ පිරිසිදු කිරීමේ වායුවක් මතුපිට හරහා ගසාගෙන යන විට මුදා හැරීම අවුලුවනු ලැබේ - හරියටම වායු බෙදා හැරීමේ පද්ධති, රික්ත කුටි සහ විශ්ලේෂණ උපකරණවල දක්නට ලැබෙන තත්වයන්. මල නොබැඳෙන වානේ පද්ධතිවල, ජල වාෂ්ප බොහෝ දුරට බහුලවම වායු පිටකිරීමේ දූෂකය වන අතර, පසුව හයිඩ්රොකාබන සහ අවශේෂ ක්රියාවලි අපද්රව්ය වේ.
නොසැලකිය හැකි බව පෙනෙන සාන්ද්රණයකදී පවා, තෙතමනය විශේෂිත වායු, න්යෂ්ටික අංශු, විශ්ලේෂණාත්මක කියවීම් අසත්යකරණය කිරීම සහ ස්කන්ධ ප්රවාහ පාලක, කපාට සහ තැන්පත් කිරීමේ කුටි වැනි විෂ සංවේදී සංරචක සමඟ ප්රතික්රියා කළ හැකිය. උපාංග ජ්යාමිතිය හැකිලී කවුළු තද වන විට, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තය ගෑස් සංශුද්ධතා අවශ්යතා මිලියනයකට කොටස් (ppm) සිට බිලියනයකට කොටස් (ppb) සහ ට්රිලියනයකට කොටස් (ppt) දක්වා තල්ලු කර ඇත. මෙම මට්ටම්වලදී, නලයේ මතුපිට නිමාව තවදුරටත් සුළු විස්තරයක් නොවේ - එය මෝලෙහි සිට මෙවලම දක්වා ඉංජිනේරු, සත්යාපනය සහ නඩත්තු කළ යුතු ප්රාථමික පිරිවිතරයකි.
මූලික යාන්ත්රණ
සැබෑ මතුපිට වර්ගඵලය වැඩි වීම
රළු මතුපිටකට සුමට එකකට වඩා විශාල ක්ෂුද්ර ප්රදේශයක් ඇති අතර, වැඩි ප්රදේශයක් යනු තෙතමනය සම්බන්ධ කළ හැකි ස්ථාන වැඩි වීමයි. සම්බන්ධතාවය රේඛීය නොවේ: කඳු මුදුන්, නිම්න සහ ධාන්ය-මායිම් පියවර ආකාරයෙන් රළු බව අවශෝෂණය සඳහා ලබා ගත හැකි ඵලදායී මතුපිට ප්රදේශය ගුණ කරයි. මතුපිට රළු බව අඩු කිරීම - Ra ලෙස මනිනු ලැබේ, මතුපිට පැතිකඩෙහි අංක ගණිතමය සාමාන්ය අපගමනය - 0.8 µm සිට 0.25 µm දක්වා අවශෝෂණ ස්ථාන විශාල ප්රමාණයක් ඉවත් කළ හැකිය, මන්ද ජලය වඩාත් මුරණ්ඩු ලෙස රඳවා තබා ගන්නා ගැඹුරුම ඉරිතැලීම් සම්පූර්ණයෙන්ම ඉවත් කරනු ලැබේ. මතුපිට නිමාව බොහෝ විට සැඟවුණු තෙතමනය සහිත ජලාශයක් ලෙස විස්තර කරනු ලබන්නේ මේ නිසාය, එය පද්ධතියක් මූලික සංශුද්ධතාවයට ළඟා වීමට පෙර කොපමණ කාලයක් පිරිසිදු කළ යුතුද යන්න තීරණය කරයි.
තෙතමනය අවශෝෂණය සහ වායු ඉවත් කිරීම
තෙතමනය ලෝහ මතුපිට සමඟ ස්ථායී බන්ධන සාදයි, විශේෂයෙන් මල නොබැඳෙන වානේ මත ස්වභාවිකව වර්ධනය වන ඔක්සයිඩ් ස්ථර සමඟ. නිෂ්ක්රීය, ක්රෝමියම් බහුල මතුපිටක, ජල අණු පළමුව ඔක්සයිඩ් වෙත කෙලින්ම රසායනික අවශෝෂණය කර, පසුව අනුක්රමික භෞතික අවශෝෂණය කරන ලද ස්ථර ලෙස ගොඩනඟයි. නළය පසුව රික්තයකට හෝ ගලා යන වායුවකට නිරාවරණය වූ විට, මෙම ස්ථර ක්රමයෙන් අවශෝෂණය වේ: ලිහිල්ව බැඳී ඇති පිටත ස්ථර පළමුව මුදා හරින අතර, රසායනික අවශෝෂණය කරන ලද ජලය පවතින අතර මුදා හැරීමට ශක්තිය, සාමාන්යයෙන් තාපය ආකාරයෙන් අවශ්ය වේ. ප්රායෝගික ප්රතිවිපාකය නම්, නැවුම්ව ස්ථාපනය කරන ලද හෝ දුර්වල ලෙස නිම කරන ලද නළයක් පැය ගණනක් හෝ දින ගණනක් වායු ප්රවාහයට තෙතමනය ලේ ගැලීම, පිරිසිදු කිරීමේ කාලය දිගු කිරීම සහ පිරිවිතරයට වඩා පිරිසිදුකම පවත්වා ගැනීමයි.
අංශු හිරවීම
රළු පෘෂ්ඨ මත ඇති අන්වීක්ෂීය ඉරිතැලීම්, වලවල් සහ ලැප් අංශු සඳහා සංචිත ලෙස ක්රියා කරයි. සාමාන්ය ක්රියාකාරිත්වය අතරතුර මෙම අංශු සිරවී පැවතිය හැකි නමුත්, තාප චක්රය, කම්පනය හෝ ප්රවාහ දිශාවේ සහ ප්රවේගයේ හදිසි වෙනස්වීම් ඒවා විසුරුවා හැර, වායු ප්රවාහයට දූෂණයේ පිපිරීම් යවයි. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී, තනි අංශුවකට වේෆරයක් මත මාරාන්තික දෝෂයක් ඇති කළ හැකි අතර, පද්ධතිය සේවයේ යෙදුණු පසු මිය ගිය කකුල් හෝ කපාට කුහරවල තැන්පත් වන අංශු ඉවත් කිරීම කුප්රකට ලෙස දුෂ්කර ය. සුමට, ඉරිතැලීම්-නිදහස් මතුපිට ජනනය වන අංශු ගණන අඩු කරනවා පමණක් නොව, පවතින මතුපිට පිරිසිදු කිරීමට සහ සත්යාපනය කිරීමට බෙහෙවින් පහසු කරයි.
ගෑස් සංශුද්ධතාවයට ඇති බලපෑම
මතුපිට නිමාව තෝරා ගැනීම වායු සංශුද්ධතාවය, පිරිසිදු කිරීමේ කාලය සහ දිගුකාලීන ස්ථායිතාව කෙරෙහි සෘජු, ප්රමාණාත්මක බලපෑමක් ඇති කරයි. Ra 0.5–0.8 µm පරාසයේ රළු මතුපිට - පිරිපහදු නොකළ සීතලෙන් ඇද ගන්නා ලද නල සඳහා සාමාන්ය - වැඩි තෙතමනයක් සහ අංශු රඳවා ගනී. ඒවා වඩාත් ආක්රමණශීලී ලෙස වායුව පිට කරයි, දිගු පිරිසිදු කිරීමේ කාලයක් අවශ්ය වන අතර, සාමාන්යයෙන් සුදුසු වන්නේ ඉඳහිට දූෂණය පිළිගත හැකි ppm මට්ටමේ යෙදුම් සඳහා පමණි. සාමාන්යයෙන් විද්යුත් ඔප දැමීම (EP) මගින් නිපදවන Ra ≤ 0.25 µm පරාසයේ සුමට මතුපිට ඉතා වෙනස් ලෙස හැසිරේ: ඒවා අඩු අවශෝෂණ ස්ථාන, අඩු වායු පිටවීම සහ බොහෝ අඩු අංශු උත්පාදනය ලබා දෙයි. ප්රකාශිත අධ්යයනයන්හි බලපෑම ප්රමාණනය කර ඇත; ටයිටේනියම් පිළිබඳ එක් පරීක්ෂණයකින් පෙන්නුම් කළේ මතුපිට රළුබව 35% කින් අඩු කිරීමෙන් වායු ඉවත් කරන ලද ජලය 30% කින් අඩු වන අතර මල නොබැඳෙන වානේ සඳහා සංසන්දනාත්මක ප්රවණතා ලේඛනගත කර ඇති බවයි. ppb- සහ ppt-මට්ටමේ අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතා පද්ධති සඳහා, විද්යුත් ඔප දැමූ මතුපිට සුඛෝපභෝගී නොවේ - ඒවා අවශ්යතාවයකි.
මතුපිට නිමාව පද්ධති ක්රියාකාරිත්වයට බලපාන ආකාරය
මතුපිට නිමාව වායුව ඉවත් කිරීමට වඩා බෙහෙවින් බලපායි. එය පිරිසිදු කිරීමේ කාලයට (සුමට පෘෂ්ඨ මූලික තෙතමනයට වේගයෙන් ළඟා වේ), ප්රවාහය යටතේ අංශු වැගිරීම, විඛාදන ප්රතිරෝධය (නිෂ්ක්රීය, ක්රෝමියම්-පොහොසත් EP පෘෂ්ඨ නැවත දූෂණයට ප්රතිරෝධී වේ) සහ පිරිසිදු කිරීමේ හැකියාව (සුමට පෘෂ්ඨ පිරිසිදු කිරීමේ කාරක මුදා හරින අතර ජලය සම්පූර්ණයෙන්ම සේදීම) බලපායි. එය වෑල්ඩින් කිරීමේ හැකියාවටද බලපායි: පිරිසිදු, පාලිත මතුපිට නිමාවක් අනාගත දූෂණයේ ප්රභවයන් බවට පත්විය හැකි ඇතුළත් කිරීම් සහ තාප-තීන්ත දුර්වර්ණ වීමේ අවදානම අඩු කරමින් වඩාත් ස්ථාවර කක්ෂීය වෑල්ඩින් ගුණාත්මක භාවයක් ඇති කරයි.
| මතුපිට නිමාව | සාමාන්ය රා | තෙතමනය රඳවා තබා ගැනීම | අංශු අවදානම | සාමාන්ය සංශුද්ධතා මට්ටම | පොදු යෙදුම් |
|---|---|---|---|---|---|
| සීතලෙන් ඇදගත් / මෝල් නිමාව | ≥ 0.8 µm | ඉහළ | ඉහළ | ppm | සාමාන්ය කාර්මික නල මාර්ග |
| අම්ල අච්චාරු දැමූ සහ නිෂ්ක්රීය (AP) | 0.4–0.8 µm | මධ්යස්ථ | මධ්යස්ථ | ppm | ක්රියාවලි නල මාර්ග, ආහාර සහ පාන වර්ග |
| දීප්තිමත් ඇනීල් (BA) | 0.25–0.4 µm | අඩු | අඩු | පීපීබී | අධි-සංශුද්ධතා ක්රියාවලිය, ඖෂධීය |
| විද්යුත් ඔප දැමූ (EP) | ≤ 0.25 µm | ඉතා අඩුයි | ඉතා අඩුයි | පීපීබී–පීපීටී | UHP වායුව, අර්ධ සන්නායක |
අවම කිරීමේ උපාය මාර්ග
ඉහළ වායු සංශුද්ධතාවයක් ලබා ගැනීම සහ පවත්වා ගැනීම සඳහා ප්රවේශයන් කිහිපයක එකතුවක් අවශ්ය වන අතර, ඒ සෑම එකක්ම දූෂණයේ වෙනස් මාර්ගයක් ආමන්ත්රණය කරයි.
මතුපිට ප්රතිකාර
විද්යුත් ඔප දැමීම (EP) යනු UHP පද්ධති සඳහා රන් ප්රමිතියයි. මෙම ක්රියාවලිය මතුපිටින් තුනී, පාලිත ලෝහ තට්ටුවක් ඉවත් කරයි, ක්ෂුද්ර කඳු මුදුන් සමතලා කරයි, ඉරිතැලීම් විවෘත කර ඉවත් කරයි, සහ නිෂ්ක්රීය පටලයේ ක්රෝමියම් අන්තර්ගතය පොහොසත් කරයි - එමඟින් මතුපිට වඩාත් විඛාදනයට ප්රතිරෝධී වන අතර තෙතමනය බෙහෙවින් අඩුවෙන් රඳවා ගනී. UHP ගෑස් දුම්රියක් නියම කිරීමේදී, තෝරන්නවිද්යුත් ඔප දැමූ මැහුම් රහිත නළයතෙත් කරන ලද සංරචක සහ එකම නිමාවට ගැලපෙන සවි කිරීම් සඳහා; එක් පද්ධතියක් තුළ නිමාවන් මිශ්ර කිරීම මුළු එකලස් කිරීමේ පිරිසිදුකම අඩපණ කරයි. අඩු ඉල්ලුමක් ඇති යෙදුම් සඳහා, අම්ල අච්චාරු දැමීම සහ නිෂ්ක්රීය කිරීම (AP) සහ දීප්තිමත් ඇනීලිං (BA) පිරිසිදුකම සහ පිරිවැය පිළිබඳ හොඳ සමතුලිතතාවයක් සපයයි.
පිරිසිදු කිරීම සහ හැසිරවීම
මතුපිට නිමාව පමණක් ප්රමාණවත් නොවේ - දැඩි පිරිසිදු කිරීම පෙර සැකසුම් පියවර වලින් ඉතිරි වූ නිෂ්පාදන අපද්රව්ය, තෙල් සහ තෙතමනය ඉවත් කරයි. සාමාන්ය ප්රොටෝකෝල මඟින් ක්ෂාරීය ක්ෂය කිරීම, අතිධ්වනික පිරිසිදු කිරීම සහ අයනීකරණය කළ ජලය සේදීම ඒකාබද්ධ කරන අතර, පසුව පිරිසිදු පරිසරයක වියළීම සහ මුද්රා තැබූ, ද්විත්ව බෑග් ආරක්ෂාවක් තුළ ඇසුරුම් කිරීම සිදු කරයි. හැසිරවීමේ විනය ද ඒ හා සමානව වැදගත් වේ: අත්වැසුම්, පිරිසිදු මෙවලම් සහ ආවරණය කරන ලද ගබඩා කිරීම මෝල සහ අවසාන ස්ථාපනය අතර නැවත දූෂණය වීම වළක්වයි.
බේක්-අවුට්
රික්තයක් හෝ ගලා යන පිරිසිදු කිරීමේ වායුවක් යටතේ සංරචක රත් කිරීම ජල වාෂ්ප අවශෝෂණය වේගවත් කරයි, ක්රියාත්මක වන විට ක්රියාවලි ප්රවාහයට වායුව පිට කරන තෙතමනය ඉවත් කරයි. ජ්යාමිතිය සහ තාප බලපෑමට ලක් වූ කලාප සැඟවුණු තෙතමනය සංචිත නිර්මාණය කරන කපාට, සවි කිරීම් සහ වෑල්ඩින් කරන ලද සන්ධි සඳහා පිළිස්සීම විශේෂයෙන් වැදගත් වේ. නිෂ්ක්රීය පිරිසිදු කිරීමක් සමඟ ඒකාබද්ධව, පිළිස්සීම නව පද්ධතියකට මූලික සංශුද්ධතාවයට ළඟා වීමට අවශ්ය කාලය දින සිට පැය දක්වා අඩු කළ හැකිය.
පිරිසිදු කිරීම
නිෂ්ක්රීය වායුවක්, සාමාන්යයෙන් නයිට්රජන් හෝ ආගන්, පද්ධතිය හරහා ගලා යාමෙන් පිටවන වායු දූෂක ද්රව්ය ඉවත් කර තෙතමනය නැවත අවශෝෂණය වීම වළක්වයි. පිරිසිදු කිරීම යනු ක්රියාත්මක කිරීමේ පියවරක් සහ අඛණ්ඩ පිළිවෙතක් යන දෙකම වේ: හොඳින් සැලසුම් කරන ලද පද්ධති, ස්ථාවර කොටස් මත අඛණ්ඩ අඩු ප්රවාහ පිරිසිදු කිරීමක් පවත්වා ගෙන යන අතර පිරිසිදු කිරීමම දූෂණය වීමේ ප්රභවයක් බවට පත් නොවන පරිදි ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් පිරිසිදු කිරීමේ වායුවක් භාවිතා කරයි.
ද්රව්ය තෝරා ගැනීම
අඩු වායු පිටකිරීමේ ද්රව්ය භාවිතා කිරීම අභ්යන්තර දූෂණ ප්රභවයන් පැවතීමට පෙර අවම කරයි. UHP සේවාව සඳහා, VIM-VAR (රික්ත ප්රේරණය උණු කිරීම සහ රික්ත චාප නැවත උණු කිරීම) මගින් නිපදවන 316L මල නොබැඳෙන වානේ කර්මාන්ත ප්රමිතියයි: ද්විත්ව රික්ත උණු කිරීම ලෝහ නොවන ඇතුළත් කිරීම් අඩු කරන අතර පිරිසිදුව නිම කිරීමට පහසු සහ වායු පිටකිරීමේ ප්රවණතාව අඩු ඝන, සමජාතීය ක්ෂුද්ර ව්යුහයක් නිපදවයි. ඇතුළත් කිරීම් සහිත පහළ ශ්රේණියේ ද්රව්ය හොඳම මතුපිට නිමාව පවා පරාජය කළ හැකිය, මන්ද ඇතුළත් කිරීම් වලවල් සහ අංශු උත්පාදනය සඳහා ආරම්භක ස්ථාන ලෙස ක්රියා කරයි.
ඔබේ යෙදුම සඳහා නිවැරදි මතුපිට නිමාව තෝරා ගැනීම
විවිධ කර්මාන්ත සහ ක්රියාවලීන්හි විවිධ සංශුද්ධතා අවශ්යතා ඇති අතර, නිවැරදි නිමාව පිරිවැය සහ ලබා ගැනීමේ හැකියාවට සාපේක්ෂව පිරිසිදුකම සමතුලිත කරයි. ppb මට්ටමේ සංශුද්ධතාවය ප්රමාණවත් වන යෙදුම් සඳහා - උදාහරණයක් ලෙස, ඉහළ සංශුද්ධතා ක්රියාවලි රේඛා සහ ඖෂධ උපයෝගිතා - aදීප්තිමත් ඇනීල් කරන ලද (BA) මැහුම් රහිත නළයමතුපිට ගුණාත්මකභාවය, මාන පාලනය සහ පිරිවැය අතර විශිෂ්ට සමතුලිතතාවයක් ලබා දෙයි. වඩාත්ම ඉල්ලුමක් ඇති සේවාව සඳහා, විද්යුත් ඔප දැමූ ද්රව්ය සම්මුතියකින් තොරව නිශ්චිතව දක්වා ඇත.
- අර්ධ සන්නායක සහ පැතලි පැනල් නිෂ්පාදනය: EP නිමාව, Ra ≤ 0.25 µm, 316L VIM-VAR, ද්විත්ව බෑග් සහ කාණ්ඩ සහතික කර ඇත. වායු පිටකිරීමේ සහ අංශු අයවැය ppb–ppt හි අර්ථ දක්වා ඇති අතර මතුපිට සහ අංශු-ගණන පිරිවිතරයන් සමඟ බලාත්මක කර ඇත.
- විශේෂිත සහ ඉලෙක්ට්රොනික වායු: පාලිත අභ්යන්තර නිමාවක් සහිත EP හෝ ඉහළ ශ්රේණියේ BA නල; ගෑස් කැබිනට් සහ බෙදාහැරීමේ පැනල් සෑම සංරචකයකින්ම ස්ථාවර ගුණාත්මක භාවයක් ඉල්ලා සිටී.
- ඖෂධ සහ ජෛව තාක්ෂණය: පිරිසිදු කිරීමට සහ වලංගු කිරීමට පහසු EP හෝ BA මතුපිට, ASME BPE මතුපිට-නිමා මාර්ගෝපදේශ සපුරාලීම සහ CIP/SIP චක්ර සඳහා සහාය වීම.
- විශ්ලේෂණාත්මක උපකරණ සහ වායු වර්ණදේහ විද්යාව:උපකරණ නළයපාලිත අභ්යන්තර විෂ්කම්භය නිමාවක් සහ නිරවද්ය මාන ඉවසීම් සමඟ, මන්ද සංඥා ස්ථායිතාව නැවත නැවතත් කළ හැකි, දූෂක-නිදහස් වාහක වායුව මත රඳා පවතී.
- සාමාන්ය ක්රියාවලිය සහ කාර්මික නල මාර්ග: AP හෝ BA නිමාවන් අඩු වියදමකින් ppm මට්ටමේ සේවාවක් සඳහා ප්රමාණවත් පිරිසිදුකමක් ලබා දෙයි.
කර්මාන්ත ප්රමිති සහ පිරිවිතර
මතුපිට නිමාව නිශ්චිතවම නියම කිරීම සඳහා පොදු භාෂාවක් අවශ්ය වේ. Ra (අංක ගණිත මධ්යන්ය රළුබව) යනු බහුලව භාවිතා වන පරාමිතිය වන නමුත් තීරණාත්මක යෙදුම් Rz, Rmax සහ උපරිම ගණන ද සඳහන් කරන අතර SEMI F19 වැනි මතුපිට-රළුබව මිනුම් ප්රමිතීන් ද දක්වයි. මල නොබැඳෙන වානේ නල සඳහා, පොදු යොමු කිරීම් අතරට බාධාවකින් තොරව සහ සනීපාරක්ෂක නල සඳහා ASTM A269 සහ A270, ජෛව සැකසුම් උපකරණ සඳහා ASME BPE සහ අර්ධ සන්නායක යෙදුම් සඳහා SEMI ප්රමිතීන් ඇතුළත් වේ. පිරිවිතරයකට EP ගුණාත්මකභාවය අවශ්ය වූ විට, එය Ra අගය, මිනුම් ක්රමය සහ පිළිගැනීමේ නිර්ණායක සඳහන් කළ යුතුය - උදාහරණයක් ලෙස, "Ra ≤ 0.25 µm, අභ්යන්තර පෘෂ්ඨයේ ස්ටයිලස් ප්රොෆිලෝමිතිය මගින් මනිනු ලැබේ, 100% පරීක්ෂා කර සහතික කර ඇත."
නිතර අසන ප්රශ්න
ප්රශ්නය: UHP ශ්රේණිය ලෙස සලකනු ලබන Ra අගය කුමක්ද?
A: අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතා පද්ධති සාමාන්යයෙන් Ra ≤ 0.25 µm නියම කරන අතර, බොහෝ අර්ධ සන්නායක ෆැබ් සඳහා විද්යුත් ඔප දැමූ පෘෂ්ඨ මත Ra ≤ 0.13 µm අවශ්ය වේ. නිශ්චිත අවශ්යතාවය ක්රියාවලිය සහ ලබා දෙන සංශුද්ධතා පන්තිය මත රඳා පවතී.
ප්රශ්නය: විද්යුත් ඔප දැමීමෙන් අංශු ඉවත් වේද?
A: විද්යුත් ඔප දැමීම මගින් පාලිත ලෝහ තට්ටුවක් ඉවත් කරන අතර එමඟින් අංශු සහ තෙතමනය සැඟවී ඇති ක්ෂුද්ර කඳු මුදුන්, ලැප් සහ ඉරිතැලීම් ඉවත් කරයි. එය පිරිසිදු කිරීම ප්රතිස්ථාපනය නොකරයි: නිසි ලෙස විද්යුත් ඔප දැමූ කොටසක් තවමත් පිරිසිදු කාමර තත්වයන් යටතේ පිරිසිදු කර, සෝදා, ඇසුරුම් කළ යුතුය.
ප්ර: මතුපිට නිමාව පිරිසිදු කිරීමේ කාලයට බලපාන්නේ කෙසේද?
A: රළු මතුපිට වැඩි තෙතමනයක් රඳවා තබා ගන්නා අතර එය වඩාත් සෙමින් මුදා හරින බැවින් මූලික සංශුද්ධතාවයට ළඟා වීමට වැඩි කාලයක් ගතවේ. සුමට විද්යුත් ඔප දැමූ මතුපිට පිරිසිදු කිරීමේ කාලය පැය ගණනක් හෝ දින ගණනක් අඩු කළ හැකි අතර, එය සෘජුවම වේගවත් ආරම්භයන් සහ අඩු අක්රිය කාලයක් බවට පරිවර්තනය වේ.
ප්රශ්නය: ගෑස් පද්ධති සඳහා දීප්තිමත් ඇනීල්ඩ් (BA) නළය ප්රමාණවත්ද?
A: Ra 0.25–0.4 µm පමණ සහිත BA නළය බොහෝ අධි-පිරිසිදු සහ ඖෂධීය යෙදුම් සඳහා සුදුසු වේ. ppb–ppt අර්ධ සන්නායක සහ විශේෂිත-ගෑස් සේවා සඳහා, සාමාන්යයෙන් විද්යුත් ඔප දැමීම අවශ්ය වේ.
ප්රශ්නය: අතිශය ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් වායු පද්ධති සඳහා වඩාත් සුදුසු ද්රව්යය කුමක්ද?
A: VIM-VAR උණු කිරීම මගින් නිපදවන ලද 316L මල නොබැඳෙන වානේ, එහි අඩු ඇතුළත් කිරීමේ අන්තර්ගතය සහ ස්ථාවර, පිරිසිදු ක්ෂුද්ර ව්යුහය නිසා UHP වායු පද්ධති සඳහා සම්මත තේරීම වේ.
නිගමනය
මතුපිට නිමාව මල නොබැඳෙන වානේ නලවල රූපලාවන්ය ගුණාංගයක් නොවේ - එය වායු පද්ධතියක ආයු කාලය පුරාවට තෙතමනය අවශෝෂණය, අංශු රඳවා තබා ගැනීම සහ වායු පිටවීම පාලනය කරන ක්රියාකාරී පිරිවිතරයකි. සුමට මතුපිට නිමාවක් යනු වායු සංශුද්ධතාවයේ ඉහළම මට්ටම් සාක්ෂාත් කර ගැනීම සහ පවත්වා ගැනීම සඳහා පූර්ව අවශ්යතාවයකි. නිවැරදි නිමාව නියම කිරීමෙන් - UHP සේවාව සඳහා විද්යුත් ඔප දැමීම, දීප්තිමත් ඇනීල් කිරීම හෝ අච්චාරු දැමීම සහ අඩු ඉල්ලුමක් ඇති යෙදුම් සඳහා නිෂ්ක්රීය කිරීම - 316L VIM-VAR මල නොබැඳෙන වානේ වැනි අඩු-පිටවන වායු පිටවන ද්රව්ය සමඟ එය ඒකාබද්ධ කිරීම සහ දැඩි පිරිසිදු කිරීම, පිළිස්සීම් සහ පිරිසිදු කිරීමේ පිළිවෙත් සමඟ එයට සහාය වීම, ඉංජිනේරුවන්ට වඩාත්ම ඉල්ලුමක් ඇති සංශුද්ධතා ඉලක්ක විශ්වාසදායක ලෙස සපුරාලන ගෑස් බෙදා හැරීමේ පද්ධති ගොඩනගා බලාගාරයේ ආයු කාලය සඳහා ඒවා එහි තබා ගත හැකිය.
පළ කිරීමේ කාලය: අගෝස්තු-21-2026