909 ව්‍යාපෘතිය ඉතා විශාල පරිමාණ ඒකාබද්ධ පරිපථ කර්මාන්ත ශාලාව යනු නවවන පස් අවුරුදු සැලැස්ම තුළ මගේ රටේ ඉලෙක්ට්‍රොනික කර්මාන්තයේ ප්‍රධාන ඉදිකිරීම් ව්‍යාපෘතියක් වන අතර එය මයික්‍රෝන 0.18 ක රේඛා පළලක් සහ මිලිමීටර් 200 ක විෂ්කම්භයක් සහිත චිප්ස් නිෂ්පාදනය කිරීමට සැලසුම් කර ඇත.
ඉතා විශාල පරිමාණයේ ඒකාබද්ධ පරිපථවල නිෂ්පාදන තාක්ෂණයට ක්ෂුද්‍ර යන්ත්‍රෝපකරණ වැනි ඉහළ නිරවද්‍යතා තාක්ෂණයන් ඇතුළත් වනවා පමණක් නොව, වායු සංශුද්ධතාවය සඳහා ඉහළ අවශ්‍යතා ද පනවයි.
909 ව්‍යාපෘතිය සඳහා තොග ගෑස් සැපයුම සපයනු ලබන්නේ එක්සත් ජනපදයේ ප්‍රැක්සෙයාර් යුටිලිටි ගෑස් සමාගම සහ ෂැංහයි හි අදාළ පාර්ශවයන් අතර ඒකාබද්ධ ව්‍යාපාරයක් මගින් වන අතර එය ඒකාබද්ධව ගෑස් නිෂ්පාදන කම්හලක් ස්ථාපිත කරයි. ගෑස් නිෂ්පාදන කම්හල 909 ව්‍යාපෘති කර්මාන්තශාලා ගොඩනැගිල්ලට යාබදව පිහිටා ඇති අතර එය ආසන්න වශයෙන් වර්ග මීටර් 15,000 ක භූමි ප්‍රදේශයක් ආවරණය කරයි. විවිධ වායූන්ගේ සංශුද්ධතාවය සහ ප්‍රතිදාන අවශ්‍යතා
අධි-සංශුද්ධ නයිට්‍රජන් (PN2), නයිට්‍රජන් (N2) සහ අධි-සංශුද්ධ ඔක්සිජන් (PO2) වායු වෙන් කිරීම මගින් නිපදවනු ලැබේ. අධි-සංශුද්ධ හයිඩ්‍රජන් (PH2) විද්‍යුත් විච්ඡේදනය මගින් නිපදවනු ලැබේ. ආගන් (Ar) සහ හීලියම් (He) බාහිරින් මිලදී ගනු ලැබේ. ව්‍යාපෘති 909 හි භාවිතය සඳහා අර්ධ-වායුව පිරිසිදු කර පෙරීම සිදු කෙරේ. විශේෂ වායුව බෝතල්වල සපයනු ලබන අතර, ගෑස් බෝතල් කැබිනට්ටුව ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදන කම්හලේ සහායක වැඩමුළුවේ පිහිටා ඇත.
අනෙකුත් වායු අතර පිරිසිදු වියළි සම්පීඩිත වායු CDA පද්ධතිය ද ඇතුළත් වන අතර, එහි භාවිත පරිමාව 4185m3/h, පීඩන පිනි ලක්ෂ්‍යය -70°C සහ භාවිතා කරන ස්ථානයේ වායුවේ අංශු ප්‍රමාණය 0.01um ට වඩා වැඩි නොවේ. හුස්ම ගැනීමේ සම්පීඩිත වාතය (BA) පද්ධතිය, භාවිතා කරන පරිමාව 90m3/h, පීඩන පිනි ලක්ෂ්‍යය 2℃, භාවිතා කරන ස්ථානයේ වායුවේ අංශු ප්‍රමාණය 0.3um ට වඩා වැඩි නොවේ, ක්‍රියාවලි රික්ත (PV) පද්ධතිය, භාවිතා කරන පරිමාව 582m3/h, භාවිතා කරන ස්ථානයේ රික්ත උපාධිය -79993Pa. පිරිසිදු කිරීමේ රික්ත (HV) පද්ධතිය, භාවිතා කරන පරිමාව 1440m3/h, භාවිතා කරන ස්ථානයේ රික්ත උපාධිය -59995 Pa. වායු සම්පීඩක කාමරය සහ රික්ත පොම්ප කාමරය යන දෙකම 909 ව්‍යාපෘති කර්මාන්තශාලා ප්‍රදේශයේ පිහිටා ඇත.
නල ද්‍රව්‍ය සහ උපාංග තෝරා ගැනීම
VLSI නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කරන වායුව අතිශයින්ම ඉහළ පිරිසිදුකම අවශ්‍යතා සපුරාලයි.ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ගෑස් නල මාර්ගසාමාන්‍යයෙන් පිරිසිදු නිෂ්පාදන පරිසරයන්හි භාවිතා වන අතර, ඒවායේ පිරිසිදුකම පාලනය භාවිතයේ ඇති අවකාශයේ පිරිසිදුතා මට්ටමට අනුකූල හෝ ඊට වඩා වැඩි විය යුතුය! ඊට අමතරව, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ගෑස් නල මාර්ග බොහෝ විට පිරිසිදු නිෂ්පාදන පරිසරයන්හි භාවිතා වේ. පිරිසිදු හයිඩ්‍රජන් (PH2), ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ඔක්සිජන් (PO2) සහ සමහර විශේෂ වායූන් දැවෙන, පුපුරන සුලු, දහනයට සහාය වන හෝ විෂ සහිත වායූන් වේ. ගෑස් නල මාර්ග පද්ධතිය නුසුදුසු ලෙස නිර්මාණය කර ඇත්නම් හෝ ද්‍රව්‍ය නුසුදුසු ලෙස තෝරාගෙන තිබේ නම්, ගෑස් ස්ථානයේ භාවිතා කරන වායුවේ සංශුද්ධතාවය අඩු වනවා පමණක් නොව, එය අසාර්ථක වනු ඇත. එය ක්‍රියාවලි අවශ්‍යතා සපුරාලන නමුත් එය භාවිතා කිරීමට අනාරක්ෂිත වන අතර පිරිසිදු කර්මාන්ත ශාලාවට දූෂණයක් ඇති කරයි, පිරිසිදු කර්මාන්ත ශාලාවේ ආරක්ෂාව සහ පිරිසිදුකමට බලපායි.
භාවිතා කරන ස්ථානයේ ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් වායුවේ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම ගෑස් නිෂ්පාදනය, පිරිසිදු කිරීමේ උපකරණ සහ පෙරහන් වල නිරවද්‍යතාවය මත පමණක් නොව, නල මාර්ග පද්ධතියේ බොහෝ සාධක මගින් ද විශාල වශයෙන් බලපායි. අපි ගෑස් නිෂ්පාදන උපකරණ, පිරිසිදු කිරීමේ උපකරණ සහ පෙරහන් මත විශ්වාසය තබන්නේ නම්, නුසුදුසු ගෑස් නල පද්ධති සැලසුම හෝ ද්‍රව්‍ය තෝරා ගැනීම සඳහා වන්දි ගෙවීම සඳහා අසීමිත ලෙස ඉහළ නිරවද්‍යතා අවශ්‍යතා පැනවීම සරලවම වැරදිය.
909 ව්‍යාපෘතියේ සැලසුම් ක්‍රියාවලියේදී, අපි “පිරිසිදු ශාක සැලසුම් කිරීමේ කේතය” GBJ73-84 (වත්මන් ප්‍රමිතිය (GB50073-2001)), “සම්පීඩිත වායු මධ්‍යස්ථාන සැලසුම් කිරීමේ කේතය” GBJ29-90, “ඔක්සිජන් මධ්‍යස්ථාන සැලසුම් කිරීමේ කේතය” GB50030-91, “හයිඩ්‍රජන් සහ ඔක්සිජන් මධ්‍යස්ථාන සැලසුම් කිරීමේ කේතය” GB50177-93 සහ නල මාර්ග ද්‍රව්‍ය සහ උපාංග තෝරා ගැනීම සඳහා අදාළ තාක්ෂණික පියවර අනුගමනය කළෙමු. “පිරිසිදු ශාක සැලසුම් කිරීමේ කේතය” නල මාර්ග ද්‍රව්‍ය සහ කපාට තෝරා ගැනීම පහත පරිදි නියම කරයි:
(1) වායු සංශුද්ධතාවය 99.999% ට වඩා වැඩි හෝ සමාන නම් සහ පිනි ලක්ෂ්‍යය -76°C ට වඩා අඩු නම්, විද්‍යුත් ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්තියක් සහිත 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්පයක් (316L) හෝ විද්‍යුත් ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්තියක් සහිත OCr18Ni9 මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්පයක් (304) භාවිතා කළ යුතුය. කපාටය ප්‍රාචීර කපාටයක් හෝ බෙලෝ කපාටයක් විය යුතුය.
(2) වායු සංශුද්ධතාවය 99.99% ට වඩා වැඩි හෝ සමාන නම් සහ පිනි ලක්ෂ්‍යය -60°C ට වඩා අඩු නම්, විද්‍යුත් ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්තියක් සහිත OCr18Ni9 මල නොබැඳෙන වානේ නළය (304) භාවිතා කළ යුතුය. දහනය කළ හැකි වායු නල මාර්ග සඳහා භාවිතා කළ යුතු බෙලෝ කපාට හැර, අනෙකුත් ගෑස් නල මාර්ග සඳහා බෝල කපාට භාවිතා කළ යුතුය.
(3) වියළි සම්පීඩිත වාතයේ පිනි ලක්ෂ්‍යය -70°C ට වඩා අඩු නම්, ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්තියක් සහිත OCr18Ni9 මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (304) භාවිතා කළ යුතුය. පිනි ලක්ෂ්‍යය -40℃ ට වඩා අඩු නම්, OCr18Ni9 මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (304) හෝ උණුසුම්-ඩිප් ගැල්වනයිස් කරන ලද මැහුම් රහිත වානේ පයිප්ප භාවිතා කළ යුතුය. කපාටය බෙලෝස් කපාටයක් හෝ බෝල කපාටයක් විය යුතුය.
(4) කපාට ද්‍රව්‍ය සම්බන්ධක නල ද්‍රව්‍ය සමඟ අනුකූල විය යුතුය.
පිරිවිතරයන්ගේ අවශ්‍යතා සහ අදාළ තාක්ෂණික පියවරයන්ට අනුව, නල මාර්ග ද්‍රව්‍ය තෝරාගැනීමේදී අපි ප්‍රධාන වශයෙන් පහත සඳහන් අංශ සලකා බලමු:
(1) නල ද්‍රව්‍යවල වායු පාරගම්යතාව කුඩා විය යුතුය. විවිධ ද්‍රව්‍යවල පයිප්පවල විවිධ වායු පාරගම්යතාව ඇත. වැඩි වායු පාරගම්යතාවයක් සහිත පයිප්ප තෝරා ගන්නේ නම්, දූෂණය ඉවත් කළ නොහැක. මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප සහ තඹ පයිප්ප වායුගෝලයේ ඔක්සිජන් විනිවිද යාම සහ විඛාදනය වැළැක්වීමට වඩා හොඳය. කෙසේ වෙතත්, මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප තඹ පයිප්පවලට වඩා අඩු ක්‍රියාකාරී බැවින්, තඹ පයිප්ප වායුගෝලයේ තෙතමනය ඒවායේ අභ්‍යන්තර පෘෂ්ඨයන් තුළට විනිවිද යාමට ඉඩ දීමේදී වඩාත් ක්‍රියාකාරී වේ. එබැවින්, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ගෑස් නල මාර්ග සඳහා පයිප්ප තෝරාගැනීමේදී, මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප පළමු තේරීම විය යුතුය.
(2) නල ද්‍රව්‍යයේ අභ්‍යන්තර පෘෂ්ඨය අවශෝෂණය කර ඇති අතර වායුව විශ්ලේෂණය කිරීම කෙරෙහි සුළු බලපෑමක් ඇති කරයි. මල නොබැඳෙන වානේ නළය සැකසූ පසු, එහි ලෝහ දැලිසෙහි යම් වායු ප්‍රමාණයක් රඳවා ගනු ඇත. අධි-සංශුද්ධතා වායුව හරහා ගමන් කරන විට, වායුවේ මෙම කොටස වායු ප්‍රවාහයට ඇතුළු වී දූෂණය ඇති කරයි. ඒ සමඟම, අවශෝෂණය සහ විශ්ලේෂණය හේතුවෙන්, නලයේ අභ්‍යන්තර පෘෂ්ඨයේ ඇති ලෝහය ද යම් ප්‍රමාණයක කුඩු නිපදවන අතර එමඟින් අධි-සංශුද්ධතා වායුවට දූෂණය ඇති වේ. 99.999% හෝ ppb මට්ටමට වඩා සංශුද්ධතාවයක් ඇති නල පද්ධති සඳහා, 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ නළය (316L) භාවිතා කළ යුතුය.
(3) මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්පවල ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය තඹ පයිප්පවලට වඩා හොඳ වන අතර වායු ප්‍රවාහ ඛාදනය මගින් ජනනය වන ලෝහ දූවිලි සාපේක්ෂව අඩුය. පිරිසිදුකම සඳහා ඉහළ අවශ්‍යතා සහිත නිෂ්පාදන වැඩමුළු සඳහා 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (316L) හෝ OCr18Ni9 මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (304) භාවිතා කළ හැකි අතර, තඹ පයිප්ප භාවිතා නොකළ යුතුය.
(4) 99.999% ට වැඩි හෝ ppb හෝ ppt මට්ටම් සහිත ගෑස් සංශුද්ධතාවය සහිත නල පද්ධති සඳහා, හෝ “පිරිසිදු කර්මාන්තශාලා සැලසුම් කේතයේ” නිශ්චිතව දක්වා ඇති N1-N6 වායු පිරිසිදුතා මට්ටම් සහිත පිරිසිදු කාමරවල, අතිශය පිරිසිදු පයිප්ප හෝEP අතිශය පිරිසිදු පයිප්පභාවිතා කළ යුතුය. "අතිශය සුමට අභ්‍යන්තර පෘෂ්ඨයක් සහිත පිරිසිදු නළය" පිරිසිදු කරන්න.
(5) නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී භාවිතා කරන විශේෂ ගෑස් නල මාර්ග පද්ධති සමහරක් අධික ලෙස විඛාදන වායු වේ. මෙම නල මාර්ග පද්ධතිවල පයිප්ප විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප පයිප්ප ලෙස භාවිතා කළ යුතුය. එසේ නොමැතිනම්, විඛාදනය හේතුවෙන් පයිප්පවලට හානි සිදුවනු ඇත. මතුපිට විඛාදන ලප ඇති වුවහොත්, සාමාන්‍ය මැහුම් රහිත වානේ පයිප්ප හෝ ගැල්වනයිස් කරන ලද වෑල්ඩින් කරන ලද වානේ පයිප්ප භාවිතා නොකළ යුතුය.
(6) ප්‍රතිපත්තිමය වශයෙන්, සියලුම ගෑස් නල මාර්ග සම්බන්ධතා වෑල්ඩින් කළ යුතුය. ගැල්වනයිස් කරන ලද වානේ පයිප්ප වෑල්ඩින් කිරීමෙන් ගැල්වනයිස් කරන ලද ස්ථරය විනාශ වන බැවින්, පිරිසිදු කාමරවල පයිප්ප සඳහා ගැල්වනයිස් කරන ලද වානේ පයිප්ප භාවිතා නොකෙරේ.
ඉහත සාධක සැලකිල්ලට ගනිමින්, &7& ව්‍යාපෘතියේ තෝරාගත් ගෑස් නල මාර්ග නල සහ කපාට පහත පරිදි වේ:
අධි-සංශුද්ධතා නයිට්‍රජන් (PN2) පද්ධති පයිප්ප 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු-කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (316L) වලින් සාදා ඇති අතර විද්‍යුත් ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්ති සහිත වන අතර කපාට එකම ද්‍රව්‍යයේ මල නොබැඳෙන වානේ බෙලෝ කපාට වලින් සාදා ඇත.
නයිට්‍රජන් (N2) පද්ධති පයිප්ප 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (316L) වලින් සාදා ඇති අතර විද්‍යුත් ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්ති සහිත වන අතර කපාට එකම ද්‍රව්‍යයේ මල නොබැඳෙන වානේ බෙලෝ කපාට වලින් සාදා ඇත.
අධි-පිරිසිදු හයිඩ්‍රජන් (PH2) පද්ධති පයිප්ප 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (316L) වලින් සාදා ඇති අතර විද්‍යුත් ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්ති සහිත වන අතර කපාට එකම ද්‍රව්‍යයේ මල නොබැඳෙන වානේ බෙලෝ කපාට වලින් සාදා ඇත.
අධි-සංශුද්ධතා ඔක්සිජන් (PO2) පද්ධති පයිප්ප 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු-කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (316L) වලින් සාදා ඇති අතර විද්‍යුත් ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්ති සහිත වන අතර කපාට එකම ද්‍රව්‍යයේ මල නොබැඳෙන වානේ බෙලෝ කපාට වලින් සාදා ඇත.
ආගන් (Ar) පද්ධති පයිප්ප 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (316L) වලින් සාදා ඇති අතර අභ්‍යන්තර බිත්ති විද්‍යුත් ඔප දමා ඇති අතර එම ද්‍රව්‍යයේම මල නොබැඳෙන වානේ බෙලෝ කපාට භාවිතා කරයි.
හීලියම් (He) පද්ධති පයිප්ප 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (316L) වලින් සාදා ඇති අතර විද්‍යුත් ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්ති සහිත වන අතර කපාට එකම ද්‍රව්‍යයේ මල නොබැඳෙන වානේ බෙලෝ කපාට වලින් සාදා ඇත.
පිරිසිදු වියළි සම්පීඩිත වායු (CDA) පද්ධති පයිප්ප ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්ති සහිත OCr18Ni9 මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (304) වලින් සාදා ඇති අතර කපාට එකම ද්‍රව්‍යයේ මල නොබැඳෙන වානේ බෙලෝ කපාට වලින් සාදා ඇත.
හුස්ම ගැනීමේ සම්පීඩිත වාතය (BA) පද්ධති පයිප්ප ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්ති සහිත OCr18Ni9 මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (304) වලින් සාදා ඇති අතර කපාට එකම ද්‍රව්‍යයේ මල නොබැඳෙන වානේ බෝල කපාට වලින් සාදා ඇත.
ක්‍රියාවලි රික්ත (PV) පද්ධති පයිප්ප UPVC පයිප්පවලින් සාදා ඇති අතර, කපාට එකම ද්‍රව්‍යයෙන් සාදන ලද රික්ත සමනල කපාටවලින් සාදා ඇත.
පිරිසිදු කිරීමේ රික්ත (HV) පද්ධති පයිප්ප UPVC පයිප්පවලින් සාදා ඇති අතර, කපාට එකම ද්‍රව්‍යයෙන් සාදන ලද රික්ත සමනල කපාටවලින් සාදා ඇත.
විශේෂ වායු පද්ධතියේ පයිප්ප සියල්ලම 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (316L) වලින් සාදා ඇති අතර අභ්‍යන්තර බිත්ති විද්‍යුත් ඔප දමා ඇති අතර කපාට එකම ද්‍රව්‍යයේ මල නොබැඳෙන වානේ බෙලෝ කපාට වලින් සාදා ඇත.
3 නල මාර්ග ඉදිකිරීම සහ ස්ථාපනය කිරීම
3.1 "පිරිසිදු කර්මාන්තශාලා ගොඩනැගිලි සැලසුම් සංග්‍රහයේ" 8.3 වගන්තියේ නල මාර්ග සම්බන්ධතා සඳහා පහත සඳහන් විධිවිධාන නියම කර ඇත:
(1) නල සම්බන්ධතා වෑල්ඩින් කළ යුතු නමුත්, උණුසුම් ගැල්වනයිස් කරන ලද වානේ පයිප්ප නූල් කළ යුතුය. නූල් සම්බන්ධතා වල මුද්‍රා තැබීමේ ද්‍රව්‍ය මෙම පිරිවිතරයේ 8.3.3 වගන්තියේ අවශ්‍යතාවලට අනුකූල විය යුතුය.
(2) මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප ආගන් ආර්ක් වෙල්ඩින් සහ බට් වෙල්ඩින් හෝ සොකට් වෙල්ඩින් මගින් සම්බන්ධ කළ යුතුය, නමුත් ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ගෑස් නල මාර්ග සම්බන්ධ කළ යුත්තේ අභ්‍යන්තර බිත්තියේ සලකුණු නොමැතිව බට් වෙල්ඩින් මගිනි.
(3) නල මාර්ග සහ උපකරණ අතර සම්බන්ධතාවය උපකරණවල සම්බන්ධතා අවශ්‍යතාවලට අනුකූල විය යුතුය. හෝස් සම්බන්ධතා භාවිතා කරන විට, ලෝහ හෝස් භාවිතා කළ යුතුය.
(4) නල මාර්ග සහ කපාට අතර සම්බන්ධතාවය පහත සඳහන් රෙගුලාසි වලට අනුකූල විය යුතුය.
① ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ගෑස් නල මාර්ග සහ කපාට සම්බන්ධ කරන මුද්‍රා තැබීමේ ද්‍රව්‍ය නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ අවශ්‍යතා සහ ගෑස් ලක්ෂණ අනුව ලෝහ ගෑස්කට් හෝ ද්විත්ව ෆෙරියුල් භාවිතා කළ යුතුය.
②නූල් හෝ ෆ්ලැන්ජ් සම්බන්ධතාවයේ මුද්‍රා තැබීමේ ද්‍රව්‍යය පොලිටෙට්‍රාෆ්ලෝරෝඑතිලීන් විය යුතුය.
3.2 පිරිවිතරයන්ගේ අවශ්‍යතා සහ අදාළ තාක්ෂණික පියවරයන්ට අනුව, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ගෑස් නල මාර්ග සම්බන්ධ කිරීම හැකිතාක් වෑල්ඩින් කළ යුතුය. වෑල්ඩින් කිරීමේදී සෘජු බට් වෑල්ඩින් වළක්වා ගත යුතුය. පයිප්ප අත් හෝ නිමි සන්ධි භාවිතා කළ යුතුය. පයිප්ප අත් එකම ද්‍රව්‍යයෙන් සහ පයිප්පවල අභ්‍යන්තර මතුපිට සුමටතාවයෙන් සාදා තිබිය යුතුය. මට්ටමින්, වෑල්ඩින් කිරීමේදී, වෙල්ඩින් කොටස ඔක්සිකරණය වීම වැළැක්වීම සඳහා, වෙල්ඩින් පයිප්පයට පිරිසිදු ආරක්ෂිත වායුව හඳුන්වා දිය යුතුය. මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප සඳහා, ආගන් චාප වෑල්ඩින් භාවිතා කළ යුතු අතර, එම සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ආගන් වායුව පයිප්පයට හඳුන්වා දිය යුතුය. නූල් සම්බන්ධතාවය හෝ නූල් සම්බන්ධතාවය භාවිතා කළ යුතුය. ෆ්ලැන්ජ් සම්බන්ධ කරන විට, නූල් සම්බන්ධතා සඳහා ෆෙරූල් භාවිතා කළ යුතුය. ඔක්සිජන් පයිප්ප සහ හයිඩ්‍රජන් පයිප්ප හැර, ලෝහ ගෑස්කට් භාවිතා කළ යුතු අතර, අනෙකුත් පයිප්ප පොලිටෙට්‍රාෆ්ලෝරෝඑතිලීන් ගෑස්කට් භාවිතා කළ යුතුය. ගෑස්කට් වලට සිලිකොන් රබර් කුඩා ප්‍රමාණයක් යෙදීම ද ඵලදායී වනු ඇත. මුද්‍රා තැබීමේ බලපෑම වැඩි දියුණු කරන්න. ෆ්ලැන්ජ් සම්බන්ධතා සිදු කරන විට සමාන පියවර ගත යුතුය.
ස්ථාපන කටයුතු ආරම්භ කිරීමට පෙර, පයිප්පවල සවිස්තරාත්මක දෘශ්‍ය පරීක්ෂණයක්,සවි කිරීම්, කපාට ආදිය සිදු කළ යුතුය. සාමාන්‍ය මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්පවල අභ්‍යන්තර බිත්තිය ස්ථාපනය කිරීමට පෙර අච්චාරු දැමිය යුතුය. ඔක්සිජන් නල මාර්ගවල පයිප්ප, සවි කිරීම්, කපාට ආදිය තෙල් වලින් දැඩි ලෙස තහනම් කළ යුතු අතර, ස්ථාපනය කිරීමට පෙර අදාළ අවශ්‍යතා අනුව දැඩි ලෙස degreased කළ යුතුය.
පද්ධතිය ස්ථාපනය කර භාවිතයට ගැනීමට පෙර, සම්ප්‍රේෂණ සහ බෙදාහැරීමේ නල පද්ධතිය ලබා දෙන අධි-පිරිසිදු වායුව සමඟ සම්පූර්ණයෙන්ම පිරිසිදු කළ යුතුය. මෙය ස්ථාපන ක්‍රියාවලියේදී අහම්බෙන් පද්ධතියට වැටුණු දූවිලි අංශු ගසාගෙන යනවා පමණක් නොව, නල පද්ධතියේ වියළීමේ කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි, නල බිත්තියෙන් සහ නල ද්‍රව්‍යයෙන් පවා අවශෝෂණය වන තෙතමනය අඩංගු වායුවේ කොටසක් ඉවත් කරයි.
4. නල මාර්ග පීඩන පරීක්ෂණය සහ පිළිගැනීම
(1) පද්ධතිය ස්ථාපනය කිරීමෙන් පසු, විශේෂ ගෑස් නල මාර්ගවල අධික විෂ සහිත තරල ප්‍රවාහනය කරන පයිප්පවල 100% විකිරණශීලී පරීක්ෂණයක් සිදු කළ යුතු අතර, ඒවායේ ගුණාත්මකභාවය II මට්ටමට වඩා අඩු නොවිය යුතුය. අනෙකුත් පයිප්ප සාම්පල විකිරණශීලී පරීක්ෂාවට භාජනය විය යුතු අතර, සාම්පල පරීක්ෂණ අනුපාතය 5% ට නොඅඩු විය යුතු අතර, ගුණාත්මකභාවය III ශ්‍රේණියට වඩා අඩු නොවිය යුතුය.
(2) විනාශකාරී නොවන පරීක්ෂණය සමත් වූ පසු, පීඩන පරීක්ෂණයක් සිදු කළ යුතුය. නල පද්ධතියේ වියළි බව සහ පිරිසිදුකම සහතික කිරීම සඳහා, හයිඩ්‍රොලික් පීඩන පරීක්ෂණයක් සිදු නොකළ යුතු අතර, වායුමය පීඩන පරීක්ෂණයක් භාවිතා කළ යුතුය. පිරිසිදු කාමරයේ පිරිසිදුකම මට්ටමට ගැලපෙන නයිට්‍රජන් හෝ සම්පීඩිත වාතය භාවිතයෙන් වායු පීඩන පරීක්ෂණය සිදු කළ යුතුය. නල මාර්ගයේ පරීක්ෂණ පීඩනය සැලසුම් පීඩනය මෙන් 1.15 ගුණයක් විය යුතු අතර, රික්ත නල මාර්ගයේ පරීක්ෂණ පීඩනය 0.2MPa විය යුතුය. පරීක්ෂණය අතරතුර, පීඩනය ක්‍රමයෙන් හා සෙමින් වැඩි කළ යුතුය. පරීක්ෂණ පීඩනයෙන් 50% දක්වා පීඩනය ඉහළ යන විට, කිසිදු අසාමාන්‍යතාවයක් හෝ කාන්දුවක් සොයාගත නොහැකි නම්, පරීක්ෂණ පීඩනයෙන් පියවරෙන් පියවර පීඩනය වැඩි කිරීම දිගටම කරගෙන යන්න, සහ පරීක්ෂණ පීඩනය තෙක් සෑම මට්ටමකින්ම මිනිත්තු 3 ක් පීඩනය ස්ථාවර කරන්න. මිනිත්තු 10 ක් සඳහා පීඩනය ස්ථාවර කරන්න, ඉන්පසු සැලසුම් පීඩනයට පීඩනය අඩු කරන්න. කාන්දුව හඳුනාගැනීමේ අවශ්‍යතා අනුව පීඩන නැවතුම් කාලය තීරණය කළ යුතුය. කාන්දුවක් නොමැති නම් පෙණ නඟින කාරකය සුදුසුකම් ලබයි.
(3) රික්ත පද්ධතිය පීඩන පරීක්ෂණය සමත් වූ පසු, සැලසුම් ලේඛනවලට අනුව එය පැය 24 පුරා රික්ත උපාධි පරීක්ෂණයක් ද පැවැත්විය යුතු අතර, පීඩන අනුපාතය 5% ට වඩා වැඩි නොවිය යුතුය.
(4) කාන්දු පරීක්ෂණය. ppb සහ ppt ශ්‍රේණියේ නල මාර්ග පද්ධති සඳහා, අදාළ පිරිවිතරයන්ට අනුව, කිසිදු කාන්දුවක් සුදුසුකම් ලත් ලෙස සැලකිය යුතු නැත, නමුත් සැලසුම් කිරීමේදී කාන්දුවීම් ප්‍රමාණය පරීක්ෂණය භාවිතා කරනු ලැබේ, එනම්, වායු තද බව පරීක්ෂණයෙන් පසුව කාන්දුවීම් ප්‍රමාණය පරීක්ෂණය සිදු කරනු ලැබේ. පීඩනය යනු වැඩ කරන පීඩනය වන අතර, පීඩනය පැය 24 ක් සඳහා නතර වේ. සාමාන්‍ය පැයක කාන්දුව සුදුසුකම් ලත් පරිදි 50ppm ට වඩා අඩු හෝ සමාන වේ. කාන්දුව ගණනය කිරීම පහත පරිදි වේ:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
සූත්‍රයේ:
පැයක කාන්දුව (%)
P1-පරීක්ෂණය ආරම්භයේදී නිරපේක්ෂ පීඩනය (Pa)
P2-පරීක්ෂණය අවසානයේ නිරපේක්ෂ පීඩනය (Pa)
පරීක්ෂණය ආරම්භයේදී T1-නිරපේක්ෂ උෂ්ණත්වය (K)
පරීක්ෂණය අවසානයේ T2-නිරපේක්ෂ උෂ්ණත්වය (K)
පළ කිරීමේ කාලය: දෙසැම්බර්-12-2023