ඉලෙක්ට්රොනික ඉංජිනේරු පද්ධතිවල ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ගෑස් නල මාර්ග යෙදීම

909 ව්‍යාපෘතිය ඉතා විශාල පරිමාණයේ ඒකාබද්ධ පරිපථ කර්මාන්තශාලාව නවවන පස් අවුරුදු සැලැස්ම තුළ මයික්‍රෝන 0.18 ක රේඛා පළලක් සහ මිලිමීටර් 200 ක විෂ්කම්භයක් සහිත චිප්ස් නිෂ්පාදනය කිරීම සඳහා මගේ රටේ ඉලෙක්ට්‍රොනික කර්මාන්තයේ ප්‍රධාන ඉදිකිරීම් ව්‍යාපෘතියකි.

ඉතා විශාල පරිමාණයේ ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදනය කිරීමේ තාක්ෂණය ක්ෂුද්‍ර යන්ත්‍රෝපකරණ වැනි ඉහළ නිරවද්‍යතා තාක්ෂණයන් පමණක් නොව වායු සංශුද්ධතාවය සඳහා ඉහළ අවශ්‍යතා ද ඇතුළත් වේ.
ව්‍යාපෘතිය 909 සඳහා තොග ගෑස් සැපයුම සපයනු ලබන්නේ එක්සත් ජනපදයේ Praxair Utility Gas Co., Ltd. සහ ෂැංහයි හි අදාළ පාර්ශ්ව අතර ඒකාබද්ධ ව්‍යාපාරයක් මගින් ගෑස් නිෂ්පාදන කම්හලක් ස්ථාපිත කිරීම සඳහා ය. ගෑස් නිෂ්පාදන කම්හල 909 ව්‍යාපෘති කර්මාන්ත ශාලාවට යාබදව පිහිටා ඇත. ගොඩනැගිල්ල, වර්ග මීටර් 15,000 ක පමණ ප්රදේශයක් ආවරණය කරයි. විවිධ වායුවල සංශුද්ධතාවය සහ ප්රතිදාන අවශ්යතා

අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් නයිට්‍රජන් (PN2), නයිට්‍රජන් (N2) සහ අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ඔක්සිජන් (PO2) නිපදවනු ලබන්නේ වාතය වෙන් කිරීමෙනි. අධි-පිරිසිදු හයිඩ්‍රජන් (PH2) විද්‍යුත් විච්ඡේදනය මගින් නිපදවනු ලැබේ. Argon (Ar) සහ හීලියම් (He) බාහිරින් මිලදී ගනු ලැබේ. ව්‍යාපෘතිය 909 හි භාවිතය සඳහා අර්ධ වායුව පිරිසිදු කර පෙරීම සිදු කරයි. විශේෂ වායුව බෝතල්වල සපයනු ලබන අතර ගෑස් බෝතල් කැබිනට්ටුව ඒකාබද්ධ පරිපථ නිෂ්පාදන කම්හලේ සහායක වැඩමුළුවෙහි පිහිටා ඇත.
අනෙකුත් වායූන් වලට පිරිසිදු වියළි සම්පීඩිත වායු CDA පද්ධතියක් ද ඇතුළත් වේ, භාවිත පරිමාව 4185m3/h, පීඩන පිනි ලක්ෂ්‍යය -70 ° C සහ භාවිතා කරන ස්ථානයේ වායුවේ අංශු ප්‍රමාණය 0.01um ට වඩා වැඩි නොවේ. හුස්ම ගැනීමේ සම්පීඩිත වායු (BA) පද්ධතිය, භාවිත පරිමාව 90m3/h, පීඩන පිනි ලක්ෂ්‍යය 2℃, භාවිතා කරන ස්ථානයේ වායුවේ අංශු ප්‍රමාණය 0.3um ට වඩා වැඩි නොවේ, ක්‍රියාවලි රික්ත (PV) පද්ධතිය, භාවිත පරිමාව 582m3/h, භාවිතා කරන ස්ථානයේ රික්ත උපාධිය -79993Pa . පිරිසිදු කිරීමේ රික්තක (HV) පද්ධතිය, භාවිත පරිමාව 1440m3/h, භාවිත ලක්ෂ්‍යයේ රික්ත උපාධිය -59995 Pa. වායු සම්පීඩක කාමරය සහ රික්ත පොම්ප කාමරය යන දෙකම 909 ව්‍යාපෘති කර්මාන්තශාලා ප්‍රදේශයේ පිහිටා ඇත.

පයිප්ප ද්රව්ය සහ උපාංග තෝරා ගැනීම
VLSI නිෂ්පාදනයේදී භාවිතා කරන වායුව ඉතා ඉහළ පිරිසිදුකමේ අවශ්‍යතා ඇත.ඉහළ පිරිසිදු ගෑස් නල මාර්ගසාමාන්යයෙන් පිරිසිදු නිෂ්පාදන පරිසරයන් තුළ භාවිතා කරනු ලබන අතර, ඒවායේ පිරිසිදුකම පාලනය භාවිතා කරන අවකාශයේ පිරිසිදුකමේ මට්ටමට අනුකූලව හෝ ඊට වඩා වැඩි විය යුතුය! මීට අමතරව, පිරිසිදු නිෂ්පාදන පරිසරයන් තුළ ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ගෑස් නල මාර්ග බොහෝ විට භාවිතා වේ. පිරිසිදු හයිඩ්‍රජන් (PH2), අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ඔක්සිජන් (PO2) සහ සමහර විශේෂ වායූන් යනු දැවෙන, පුපුරන ද්‍රව්‍ය, දහනයට ආධාරක හෝ විෂ වායු වේ. ගෑස් නල මාර්ග පද්ධතිය නුසුදුසු ලෙස නිර්මාණය කර ඇත්නම් හෝ ද්රව්ය නුසුදුසු ලෙස තෝරාගෙන තිබේ නම්, ගෑස් ස්ථානයේ භාවිතා කරන වායුවේ සංශුද්ධතාවය අඩු වීම පමණක් නොව, එය අසාර්ථක වනු ඇත. එය ක්‍රියාවලි අවශ්‍යතා සපුරාලන නමුත් එය භාවිතා කිරීම අනාරක්ෂිත වන අතර පිරිසිදු කර්මාන්ත ශාලාවට දූෂණය වීමට හේතු වන අතර එය පිරිසිදු කර්මාන්ත ශාලාවේ ආරක්ෂාවට සහ පිරිසිදුකමට බලපායි.
භාවිතයේ ස්ථානයේ ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ වායුවේ ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම ගෑස් නිෂ්පාදනය, පිරිසිදු කිරීමේ උපකරණ සහ පෙරහන් වල නිරවද්‍යතාවය මත පමණක් නොව, නල පද්ධතියේ බොහෝ සාධක මගින් විශාල වශයෙන් බලපායි. අපි ගෑස් නිෂ්පාදන උපකරණ, පිරිසිදු කිරීමේ උපකරණ සහ පෙරහන් මත රඳා සිටින්නේ නම්, නුසුදුසු ගෑස් නල පද්ධති සැලසුම් කිරීම හෝ ද්රව්ය තෝරා ගැනීම සඳහා වන්දි ගෙවීම සඳහා අසීමිත ඉහළ නිරවද්යතා අවශ්යතා පැනවීම වැරදිය.
909 ව්‍යාපෘතියේ සැලසුම් ක්‍රියාවලියේදී, අපි “පිරිසිදු පැල සැලසුම් කිරීමේ කේතය” GBJ73-84 (වර්තමාන සම්මතය (GB50073-2001)), “සම්පීඩිත වායු ස්ථාන සැලසුම් කිරීමේ කේතය” GBJ29-90, “කේතය” අනුගමනය කළෙමු. ඔක්සිජන් ස්ථාන සැලසුම් කිරීම සඳහා" GB50030-91 , "හයිඩ්රජන් සහ ඔක්සිජන් ස්ථාන සැලසුම් කිරීම සඳහා කේතය" GB50177-93, සහ නල මාර්ග ද්රව්ය සහ උපාංග තෝරා ගැනීම සඳහා අදාළ තාක්ෂණික පියවරයන්. "පිරිසිදු පැල සැලසුම් කිරීම සඳහා වූ කේතය" පහත සඳහන් පරිදි නල මාර්ග ද්රව්ය සහ කපාට තෝරාගැනීම නියම කරයි:

(1) වායු සංශුද්ධතාවය 99.999% ට වඩා වැඩි හෝ සමාන නම් සහ පිනි ලක්ෂය -76 ° C ට වඩා අඩු නම්, 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (316L) ඉලෙක්ට්‍රොපොලිෂ් කළ අභ්‍යන්තර බිත්තිය හෝ OCr18Ni9 මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (304) විද්යුත් පොලිම් කළ අභ්යන්තර බිත්තිය භාවිතා කළ යුතුය. කපාට ප්රාචීර කපාටයක් හෝ බෙලෝ කපාටයක් විය යුතුය.

(2) වායු සංශුද්ධතාවය 99.99% ට වඩා වැඩි හෝ සමාන නම් සහ පිනි ලක්ෂය -60 ° C ට වඩා අඩු නම්, OCr18Ni9 මල නොබැඳෙන වානේ නලයක් (304) විද්‍යුත් ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්තියක් භාවිතා කළ යුතුය. දහනය කළ හැකි ගෑස් නල මාර්ග සඳහා භාවිතා කළ යුතු බෙලෝ කපාට හැර අනෙකුත් ගෑස් නල මාර්ග සඳහා බෝල කපාට භාවිතා කළ යුතුය.

(3) වියලි සම්පීඩිත වාතයේ පිනි ලක්ෂ්‍යය -70°C ට වඩා අඩු නම්, ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්තිය සහිත OCr18Ni9 මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (304) භාවිතා කළ යුතුය. පිනි ලක්ෂය -40℃ ට වඩා අඩු නම්, OCr18Ni9 මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (304) හෝ උණුසුම්-ඩිප් ගැල්වනයිස් කරන ලද මැහුම් රහිත වානේ පයිප්ප භාවිතා කළ යුතුය. කපාට සීනු කපාටයක් හෝ බෝල කපාටයක් විය යුතුය.

(4) කපාට ද්රව්ය සම්බන්ධක නල ද්රව්ය සමග අනුකූල විය යුතුය.

පිරිවිතරයන්ගේ අවශ්‍යතා සහ අදාළ තාක්ෂණික ක්‍රියාමාර්ග අනුව, නල මාර්ග ද්‍රව්‍ය තෝරාගැනීමේදී අපි ප්‍රධාන වශයෙන් පහත සඳහන් කරුණු සලකා බලමු:

(1) පයිප්ප ද්රව්යවල වායු පාරගම්යතාව කුඩා විය යුතුය. විවිධ ද්රව්යවල පයිප්ප විවිධ වායු පාරගම්යතාව ඇත. වැඩි වායු පාරගම්යතාව සහිත පයිප්ප තෝරාගෙන තිබේ නම්, දූෂණය ඉවත් කළ නොහැක. වායුගෝලයේ ඔක්සිජන් විනිවිද යාම සහ විඛාදනය වැළැක්වීම සඳහා මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප සහ තඹ පයිප්ප වඩා හොඳය. කෙසේ වෙතත්, මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප තඹ පයිප්පවලට වඩා අඩු ක්රියාකාරී බැවින්, වායුගෝලයේ තෙතමනය ඒවායේ අභ්යන්තර පෘෂ්ඨයන් තුලට විනිවිද යාමට ඉඩ සලසන තඹ පයිප්ප වඩාත් ක්රියාකාරී වේ. එබැවින්, ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ගෑස් නල මාර්ග සඳහා පයිප්ප තෝරාගැනීමේදී, මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප පළමු තේරීම විය යුතුය.

(2) නල ද්රව්යයේ අභ්යන්තර පෘෂ්ඨය අවශෝෂණය කර ඇති අතර වායුව විශ්ලේෂණය කිරීම සඳහා කුඩා බලපෑමක් ඇත. මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප සැකසීමෙන් පසු, එහි ලෝහ දැලිස් තුළ යම් ප්රමාණයක වායුවක් රඳවා තබා ගනී. ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් වායුව හරහා ගමන් කරන විට, වායුවේ මෙම කොටස වායු ප්රවාහයට ඇතුල් වන අතර දූෂණයට හේතු වේ. ඒ අතරම, adsorption සහ විශ්ලේෂණය හේතුවෙන්, පයිප්පයේ අභ්යන්තර පෘෂ්ඨයේ ඇති ලෝහය ද යම් කුඩු ප්රමාණයක් නිපදවනු ඇත, ඉහළ සංශුද්ධතාවයේ වායුව දූෂණය වීමට හේතු වේ. 99.999% හෝ ppb මට්ටමට වඩා සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් නල පද්ධති සඳහා, 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (316L) භාවිතා කළ යුතුය.

(3) මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්පවල ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය තඹ පයිප්පවලට වඩා හොඳ වන අතර වායු ප්‍රවාහ ඛාදනය මගින් ජනනය වන ලෝහ දූවිලි සාපේක්ෂව අඩුය. පිරිසිදුකම සඳහා ඉහළ අවශ්‍යතා සහිත නිෂ්පාදන වැඩමුළු 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (316L) හෝ OCr18Ni9 මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (304) භාවිතා කළ හැකිය, තඹ පයිප්ප භාවිතා නොකළ යුතුය.

(4) ගෑස් සංශුද්ධතාවය 99.999% හෝ ppb හෝ ppt මට්ටම්වලට වඩා වැඩි නල පද්ධති සඳහා හෝ "පිරිසිදු කර්මාන්තශාලා සැලසුම් කේතය" හි නිශ්චිතව දක්වා ඇති N1-N6 වායු පිරිසිදුතා මට්ටම් සහිත පිරිසිදු කාමරවල, අතිශය පිරිසිදු පයිප්ප හෝEP අති පිරිසිදු පයිප්පභාවිතා කළ යුතුය. "අති සුමට අභ්යන්තර පෘෂ්ඨයක් සහිත පිරිසිදු නළය" පිරිසිදු කරන්න.

(5) නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේදී භාවිතා වන විශේෂ ගෑස් නල පද්ධති සමහරක් අධික විඛාදන වායු වේ. මෙම නල පද්ධතිවල ඇති පයිප්ප, විඛාදනයට ඔරොත්තු දෙන මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප පයිප්ප ලෙස භාවිතා කළ යුතුය. එසේ නොමැති නම්, විඛාදනයට ලක්වීමෙන් පයිප්ප හානි වේ. මතුපිට විඛාදන ලප ඇති වුවහොත්, සාමාන්‍ය මැහුම් රහිත වානේ පයිප්ප හෝ ගැල්වනයිස් කරන ලද වෑල්ඩින් වානේ පයිප්ප භාවිතා නොකළ යුතුය.

(6) මූලධර්මය අනුව, සියලුම ගෑස් නල මාර්ග සම්බන්ධතා වෑල්ඩින් කළ යුතුය. ගැල්වනයිස් කරන ලද වානේ පයිප්පවල වෑල්ඩින් ගැල්වනයිස් කරන ලද ස්ථරය විනාශ කරන බැවින්, පිරිසිදු කාමරවල පයිප්ප සඳහා ගැල්වනයිස් වානේ පයිප්ප භාවිතා නොකෙරේ.

ඉහත සාධක සැලකිල්ලට ගනිමින්, &7& ව්‍යාපෘතියේ තෝරාගත් ගෑස් නල මාර්ග සහ කපාට පහත පරිදි වේ:

අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් නයිට්‍රජන් (PN2) පද්ධති පයිප්ප 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්පවලින් (316L) විද්‍යුත් ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්ති වලින් සාදා ඇති අතර කපාට සෑදී ඇත්තේ එම ද්‍රව්‍යයේම මල නොබැඳෙන වානේ බෙලෝ කපාට වලින්ය.
නයිට්‍රජන් (N2) පද්ධති පයිප්ප 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්පවලින් (316L) විද්‍යුත් ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්ති වලින් සාදා ඇති අතර කපාට සෑදී ඇත්තේ එම ද්‍රව්‍යයේම මල නොබැඳෙන වානේ සීනු කපාට වලින්ය.
අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් හයිඩ්‍රජන් (PH2) පද්ධති පයිප්ප 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්පවලින් (316L) විද්‍යුත් පොලිෂ් කරන ලද අභ්‍යන්තර බිත්ති වලින් සාදා ඇති අතර කපාට සෑදී ඇත්තේ එම ද්‍රව්‍යයේම මල නොබැඳෙන වානේ බෙලෝ කපාට වලින්ය.
අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ඔක්සිජන් (PO2) පද්ධති පයිප්ප 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්පවලින් (316L) ඉලෙක්ට්‍රෝ ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්ති වලින් සාදා ඇති අතර කපාට එකම ද්‍රව්‍යයේ මල නොබැඳෙන වානේ බෙලෝ කපාට වලින් සාදා ඇත.
ආගන් (Ar) පද්ධති පයිප්ප 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (316L) වලින් සාදා ඇති අතර විද්‍යුත් පොලිෂ් කළ අභ්‍යන්තර බිත්ති සහිත වන අතර එම ද්‍රව්‍යයේම මල නොබැඳෙන වානේ සීනු කපාට භාවිතා වේ.
හීලියම් (He) පද්ධති පයිප්ප 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (316L) වලින් සාදා ඇති අතර ඒවා විද්‍යුත් පොලිෂ් කළ අභ්‍යන්තර බිත්ති සහිත වන අතර කපාට සෑදී ඇත්තේ එම ද්‍රව්‍යයේම මල නොබැඳෙන වානේ සීනු කපාට වලින්ය.
පිරිසිදු වියළි සම්පීඩිත වායු (CDA) පද්ධති පයිප්ප ඔප දැමූ අභ්යන්තර බිත්ති සහිත OCr18Ni9 මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (304) වලින් සාදා ඇති අතර, එම ද්රව්යයේම මල නොබැඳෙන වානේ බෙලෝ කපාට කපාට සාදා ඇත.
හුස්ම ගැනීමේ සම්පීඩිත වායු (BA) පද්ධති පයිප්ප ඔප දැමූ අභ්යන්තර බිත්ති සහිත OCr18Ni9 මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (304) වලින් සාදා ඇති අතර කපාට එකම ද්රව්යයේ මල නොබැඳෙන වානේ බෝල කපාට වලින් සාදා ඇත.
ක්‍රියාවලි රික්තක (PV) පද්ධතියේ පයිප්ප UPVC පයිප්ප වලින් සාදා ඇති අතර කපාට එකම ද්‍රව්‍යයකින් සාදන ලද රික්ත සමනල කපාට වලින් සාදා ඇත.
පිරිසිදු කිරීමේ රික්තක (HV) පද්ධති පයිප්ප UPVC පයිප්ප වලින් සාදා ඇති අතර කපාට එකම ද්රව්යයෙන් සාදා ඇති රික්ත සමනල කපාට වලින් සාදා ඇත.
විශේෂ වායු පද්ධතියේ පයිප්ප සියල්ලම 00Cr17Ni12Mo2Ti අඩු කාබන් මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප (316L) වලින් සාදා ඇති අතර විද්‍යුත් ඔප දැමූ අභ්‍යන්තර බිත්ති සහිත වන අතර කපාට එකම ද්‍රව්‍යයේ මල නොබැඳෙන වානේ සීනු කපාට වලින් සාදා ඇත.

3 නල මාර්ග ඉදිකිරීම සහ ස්ථාපනය කිරීම
3.1 "පිරිසිදු කර්මාන්තශාලා ගොඩනැගිලි සැලසුම් සංග්රහයේ" 8.3 වගන්තිය නල මාර්ග සම්බන්ධතා සඳහා පහත සඳහන් විධිවිධාන නියම කරයි:
(1) නල සම්බන්ධතා වෑල්ඩින් කළ යුතුය, නමුත් උණුසුම් ගැල්වනයිස් කරන ලද වානේ පයිප්ප නූල් දැමිය යුතුය. නූල් සම්බන්ධතා මුද්‍රා තැබීමේ ද්‍රව්‍ය මෙම පිරිවිතරයේ 8.3.3 වගන්තියේ අවශ්‍යතාවලට අනුකූල විය යුතුය.
(2) මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප ආගන් ආර්ක් වෑල්ඩින් සහ බට් වෑල්ඩින් හෝ සොකට් වෙල්ඩින් මගින් සම්බන්ධ කළ යුතුය, නමුත් ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ගෑස් නල මාර්ග ඇතුල් බිත්තියේ ලකුණු නොමැතිව බට් වෑල්ඩින් මගින් සම්බන්ධ කළ යුතුය.
(3) නල මාර්ග සහ උපකරණ අතර සම්බන්ධය උපකරණවල සම්බන්ධතා අවශ්‍යතාවලට අනුකූල විය යුතුය. හෝස් සම්බන්ධතා භාවිතා කරන විට, ලෝහ හෝස් භාවිතා කළ යුතුය.
(4) නල මාර්ග සහ කපාට අතර සම්බන්ධය පහත සඳහන් රෙගුලාසි වලට අනුකූල විය යුතුය

① ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් ගෑස් නල මාර්ග සහ කපාට සම්බන්ධ කරන මුද්‍රා තැබීමේ ද්‍රව්‍ය නිෂ්පාදන ක්‍රියාවලියේ අවශ්‍යතා සහ ගෑස් ලක්ෂණ අනුව ලෝහ ගෑස්කට් හෝ ද්විත්ව ෆෙරූල් භාවිතා කළ යුතුය.
② නූල් හෝ ෆ්ලැන්ජ් සම්බන්ධතාවයේ මුද්‍රා තැබීමේ ද්‍රව්‍යය පොලිටෙට්‍රාෆ්ලෝරෝඑතිලීන් විය යුතුය.
3.2 පිරිවිතරයන් සහ අදාළ තාක්ෂණික ක්‍රියාමාර්ගවල අවශ්‍යතා අනුව, ඉහළ සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් ගෑස් නල මාර්ග සම්බන්ධ කිරීම හැකිතාක් දුරට වෑල්ඩින් කළ යුතුය. වෑල්ඩින් කිරීමේදී සෘජු බට් වෑල්ඩින් වැළැක්විය යුතුය. පයිප්ප අත් හෝ නිමි සන්ධි භාවිතා කළ යුතුය. පයිප්ප අත් පයිප්ප මෙන් එකම ද්රව්ය සහ අභ්යන්තර මතුපිට සුමටව සෑදිය යුතුය. මට්ටම, වෙල්ඩින් අතරතුර, වෙල්ඩින් කොටස ඔක්සිකරණය වීම වැළැක්වීම සඳහා, පිරිසිදු ආරක්ෂිත වායුව වෙල්ඩින් පයිප්පයට හඳුන්වා දිය යුතුය. මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්ප සඳහා, ආගන් ආර්ක වෙල්ඩින් භාවිතා කළ යුතු අතර, එම සංශුද්ධතාවයේ ආගන් වායුව නලයට හඳුන්වා දිය යුතුය. නූල් සම්බන්ධතාවය හෝ නූල් සම්බන්ධතාවය භාවිතා කළ යුතුය. ෆ්ලැන්ජ් සම්බන්ධ කරන විට, නූල් සම්බන්ධතා සඳහා ෆෙරූල් භාවිතා කළ යුතුය. ලෝහ ගෑස්කට් භාවිතා කළ යුතු ඔක්සිජන් පයිප්ප සහ හයිඩ්‍රජන් පයිප්ප හැර අනෙකුත් පයිප්ප පොලිටෙට්‍රාෆ්ලෝරෝඑතිලීන් ගෑස්කට් භාවිතා කළ යුතුය. ගෑස්කට් වලට සිලිකොන් රබර් කුඩා ප්රමාණයක් යෙදීම ද ඵලදායී වනු ඇත. මුද්රා තැබීමේ බලපෑම වැඩි දියුණු කරන්න. ෆ්ලැන්ජ් සම්බන්ධතා ඇති විට සමාන පියවර ගත යුතුය.
ස්ථාපන කටයුතු ආරම්භ කිරීමට පෙර, පයිප්පවල සවිස්තරාත්මක දෘශ්ය පරීක්ෂාව,සවි කිරීම්, කපාට, ආදිය සිදු කළ යුතුය. සාමාන්ය මල නොබැඳෙන වානේ පයිප්පවල අභ්යන්තර බිත්තිය ස්ථාපනය කිරීමට පෙර අච්චාරු දැමිය යුතුය. ඔක්සිජන් නල මාර්ගවල පයිප්ප, සවිකෘත, කපාට ආදිය තෙල්වලින් දැඩි ලෙස තහනම් කළ යුතු අතර, ස්ථාපනය කිරීමට පෙර අදාළ අවශ්යතා අනුව දැඩි ලෙස degreased කළ යුතුය.
පද්ධතිය ස්ථාපනය කර භාවිතයට ගැනීමට පෙර, සම්ප්‍රේෂණ සහ බෙදා හැරීමේ නල පද්ධතිය බෙදා හරින ලද අධි සංශුද්ධතාවයෙන් යුත් වායුවකින් සම්පූර්ණයෙන්ම පිරිසිදු කළ යුතුය. මෙය ස්ථාපන ක්‍රියාවලියේදී අහම්බෙන් පද්ධතියට වැටුණු දූවිලි අංශු ඉවත් කරනවා පමණක් නොව, නල පද්ධතියේ වියළීමේ කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි, නල බිත්තියෙන් අවශෝෂණය කරන තෙතමනය සහිත වායුවේ කොටසක් සහ නල ද්‍රව්‍ය පවා ඉවත් කරයි.

4. නල මාර්ග පීඩන පරීක්ෂණය සහ පිළිගැනීම
(1) පද්ධතිය ස්ථාපනය කිරීමෙන් පසුව, විශේෂ ගෑස් නල මාර්ගවල අධික විෂ සහිත තරල ප්රවාහනය කරන පයිප්පවල 100% විකිරණ පරීක්ෂාව සිදු කළ යුතු අතර, ඒවායේ ගුණාත්මකභාවය II මට්ටමට වඩා අඩු නොවිය යුතුය. අනෙකුත් පයිප්ප නියැදීම් විකිරණ පරීක්ෂාවකට යටත් විය යුතු අතර, නියැදීම් පරීක්ෂණ අනුපාතය 5% ට නොඅඩු විය යුතුය, ගුණාත්මකභාවය III ශ්රේණියට වඩා අඩු නොවිය යුතුය.
(2) විනාශකාරී නොවන පරීක්ෂණය සමත් වූ පසු, පීඩන පරීක්ෂණයක් සිදු කළ යුතුය. නල පද්ධතියේ වියළි බව සහ පිරිසිදුකම සහතික කිරීම සඳහා, හයිඩ්රොලික් පීඩන පරීක්ෂණයක් සිදු නොකළ යුතුය, නමුත් වායු පීඩන පරීක්ෂණයක් භාවිතා කළ යුතුය. පිරිසිදු කාමරයේ පිරිසිදුකමේ මට්ටමට ගැලපෙන නයිට්රජන් හෝ සම්පීඩිත වාතය භාවිතයෙන් වායු පීඩන පරීක්ෂණය සිදු කළ යුතුය. නල මාර්ගයේ පරීක්ෂණ පීඩනය සැලසුම් පීඩනය මෙන් 1.15 ගුණයක් විය යුතු අතර, රික්ත නල මාර්ගයේ පරීක්ෂණ පීඩනය 0.2MPa විය යුතුය. පරීක්ෂණය අතරතුර, පීඩනය ක්රමයෙන් හා සෙමින් වැඩි කළ යුතුය. පීඩනය පරීක්ෂණ පීඩනයෙන් 50% දක්වා ඉහළ යන විට, කිසිදු අසාමාන්‍යතාවයක් හෝ කාන්දුවක් සොයාගත නොහැකි නම්, පරීක්ෂණ පීඩනයෙන් 10% කින් පියවරෙන් පියවර පීඩනය වැඩි කිරීම දිගටම කරගෙන යන්න, සහ පරීක්ෂණ පීඩනය තෙක් එක් එක් මට්ටමින් මිනිත්තු 3 ක් සඳහා පීඩනය ස්ථාවර කරන්න. . මිනිත්තු 10 ක් සඳහා පීඩනය ස්ථාවර කරන්න, පසුව සැලසුම් පීඩනයට පීඩනය අඩු කරන්න. කාන්දුවීම් හඳුනාගැනීමේ අවශ්යතා අනුව පීඩන නැවතුම් කාලය තීරණය කළ යුතුය. කාන්දු වීමක් නොමැති නම් පෙණ නඟින නියෝජිතයා සුදුසුකම් ලබයි.
(3) රික්ත පද්ධතිය පීඩන පරීක්ෂණය සමත් වූ පසු, එය සැලසුම් ලේඛනවලට අනුව පැය 24 ක රික්ත උපාධි පරීක්ෂණයක් ද පැවැත්විය යුතු අතර පීඩන අනුපාතය 5% ට වඩා වැඩි නොවිය යුතුය.
(4) කාන්දු පරීක්ෂණය. ppb සහ ppt ශ්‍රේණියේ නල මාර්ග පද්ධති සඳහා, අදාළ පිරිවිතරයන්ට අනුව, කිසිදු කාන්දුවක් සුදුසුකම් ලෙස නොසැලකිය යුතුය, නමුත් සැලසුම් කිරීමේදී කාන්දු ප්‍රමාණය පරීක්ෂාව භාවිතා කරයි, එනම් කාන්දුවීම් ප්‍රමාණය පරීක්ෂාව වායු තද බව පරීක්ෂාවෙන් පසුව සිදු කෙරේ. පීඩනය වැඩ පීඩනය වන අතර, පීඩනය පැය 24 ක් සඳහා නතර වේ. සාමාන්‍ය පැයක කාන්දුව සුදුසුකම් ලත් පරිදි 50ppm ට වඩා අඩු හෝ සමාන වේ. කාන්දු වීම ගණනය කිරීම පහත පරිදි වේ:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
සූත්‍රයේ:
පැයකට කාන්දු වීම (%)
P1-පරීක්ෂණය ආරම්භයේදී නිරපේක්ෂ පීඩනය (Pa)
P2-පරීක්ෂණය අවසානයේ නිරපේක්ෂ පීඩනය (Pa)
T1-පරීක්ෂණය ආරම්භයේදී නිරපේක්ෂ උෂ්ණත්වය (K)
පරීක්ෂණය අවසානයේ T2-නිරපේක්ෂ උෂ්ණත්වය (K)